يقيس مقياس التدفق SCCM تدفق الغاز بكميات صغيرة وعند ضغوط منخفضة. إنه مهم في صناعات مثل صناعة رقائق الكمبيوتر حيث يعد التحكم في تدفق الغاز أمرًا مهمًا للغاية لوظائف مثل وضع المواد الكيميائية على الرقائق أو عمل التصميمات أو التنظيف بالغاز.
يُطلق على أحد أنواع أجهزة قياس التدفق SCCM اسم مقياس التدفق الحراري الكتلي الصغير. إنه يعمل من خلال رؤية كيفية تبريد الغاز لجهاز استشعار ساخن. كلما أصبح الجو أكثر برودة، كلما كان تدفق الغاز أسرع.
يجب أن تكون أجهزة قياس التدفق SCCM دقيقة وحساسة وجيدة في التعامل مع تدفقات الغاز الصغيرة. يعد هذا أمرًا مهمًا للغاية في الأماكن التي يمكن أن يؤدي فيها التغيير البسيط في تدفق الغاز إلى إفساد عملية صنع الأشياء، مثل رقائق الكمبيوتر أو الأدوية.
لذا، تعد أجهزة قياس التدفق SCCM أدوات مهمة حقًا للتأكد من أن كل شيء يسير بسلاسة في الصناعات التي تحتاج إلى تحكم دقيق في تدفق الغاز. إنهم يتأكدون من أن الأمور تبقى على ما يرام، حتى عند العمل بكميات صغيرة من الغاز.
