مقياس تدفق كتلة التدفق المنخفض من سلسلة SRK-DL ووحدة التحكم في التدفق يمكنها قياس معدل منخفض للغاية للغاز يصل إلى 2 متر مكعب في الدقيقة (2 مل / دقيقة). يستخدم مقياس التدفق المنخفض للغاية بشكل شائع في تطبيقات مختلفة مثل كروماتوغرافيا الغاز ، وتحليل الغاز ، والبحوث المختبرية ، والعمليات الصناعية التي تتطلب قياسات دقيقة لتدفق الغاز ، ويمكن استخدامه كمقياس تدفق الأكسجين المنخفض ، ومقياس تدفق الهواء بمعدل التدفق المنخفض ، والتدفق عدادات لتطبيقات النيتروجين (N2) منخفضة التدفق ، ومقياس تدفق منخفض للغاية للغاز الحيوي ، ومقياس تدفق منخفض للغاية لثاني أكسيد الكربون ، إلخ.
مقياس تدفق الغاز الحراري منخفض التدفق / مبدأ العمل للتحكم في التدفق
تتكون وحدة التحكم في التدفق الكتلي ذات معدل التدفق المنخفض من مستشعر تدفق كتلة التدفق المنخفض ، وجهاز طبقات التدفق الصفحي ، وصمام تنظيم وحدة التحكم في التدفق ، ودائرة التحكم في التضخيم. يتم تصنيعه باستخدام تأثير توزيع نقل الحرارة للسائل المتدفق لتغيير توزيع درجة الحرارة لجدار الشعيرات الدموية المقاسة.
تستخدم وحدة التحكم في التدفق الكتلي المنخفض التدفق مبدأ قياس درجة الحرارة التفاضلية قبل وبعد نقل الحرارة الشعري لقياس التدفق الكتلي للغاز حتى 2 متر مكعب في الدقيقة ، بغض النظر عن درجة الحرارة والضغط. قم بتضخيم إشارة التدفق المقاسة بواسطة المستشعر ، ثم قارنها بالجهد المحدد. استخدم الفرق لقيادة صمام تنظيم التحكم ، وتتحكم الحلقة المغلقة في التدفق عبر القناة لجعلها مساوية لتدفق المجموعة.
مواصفات مقياس التدفق المنخفض / جهاز التحكم في التدفق
- نطاق تدفق الغاز: 2 SCCM ~ 30 SL / M ، مثل 100 ml / min ، 200 sccm ، 1 LPM ، 2 SLM ، 5 لتر / دقيقة ، 20 SLPM.
- نسبة التراجع: 50: 1 لوحدة التحكم في التدفق الكتلي الرقمي ؛ 100: 1 لمقياس التدفق الكتلي الرقمي ؛
- دقة : ± 1٪ FS
- الخطية : ± 0.5٪ FS
- التكرار: ± 0.2٪ FS
- وقت الاستجابة: تحكم التدفق الشامل <2 ثانية ؛ مقياس تدفق الكتلة <0.8s
- الاتصالات: RS232 / 485
- الإخراج: 0 ~ 5V، 4-20mA، 1-5V
- مزود الطاقة : ± 15VDC ، 24VDC
- درجة حرارة التشغيل: 0 ~ 50 درجة مئوية
- أقصى ضغط تشغيل: 3 ميجا باسكال / 10 ميجا باسكال
- مستشعر التدفق الشامل أو مادة التحكم في التدفق : ستنلس ستيل
- اتصال عملية مقياس التدفق المنخفض: Φ3 ، Φ6 ، 1/8 "، 1/4"
