مقياس تدفق الكتلة الحرارية هو نوع من مقياس تدفق الهواء أو الهواء المضغوط مع وحدات التدفق CFM.
تحتاج معظم أجهزة قياس التدفق للحصول على معدل تدفق كتلة الهواء المضغوط إلى قياس كتلة التدفق وتحتاج إلى أجهزة إضافية لقياس الضغط ودرجة الحرارة ، بحيث يمكن حساب تدفق الكتلة وكثافتها.
ومع ذلك ، فإن مقياس تدفق الهواء بالكتلة الحرارية يقيس مباشرة تدفق كتلة الهواء. ومن ثم لا يتأثر بالتغيرات في درجة الحرارة والضغط. وبالتالي فإن مقياس تدفق الكتلة يعطي قراءات أكثر دقة وموثوقية وقابلة للتكرار من العدادات الأخرى كما أن لديها قدرة أكبر على المدى من عدادات التدفق الأخرى.