يطبق مقياس تدفق الكتلة القياس الحراري ، ويقيس التدفق من خلال قياس كتلة الجزيئات المأخوذة. بسبب القياس الحراري ، لن تتأثر النتيجة بتغيرات درجة حرارة وضغط الغاز. كأداة قياس تدفق دقيقة وسريعة وموثوقة وفعالة ومستقرة ومرنة ، سيتم استخدام مقياس التدفق الشامل على نطاق واسع في مجالات معالجة البترول والصناعة الكيميائية. لديها إمكانات كبيرة في تعزيز قياس التدفق. مقياس التدفق الكتلي غير قادر على التحكم في التدفق ، ولكنه يكتشف التدفق الكتلي للسائل أو الغاز ، مع خرج قيمة التدفق من خلال الجهد التناظري أو التيار أو الاتصال التسلسلي.
ومع ذلك ، فإن وحدة التحكم في التدفق الكتلي هي أداة يمكنها اكتشاف التدفق والتحكم فيه في نفس الوقت. يحتوي جهاز التحكم في التدفق الكتلي نفسه على صمام تنظيم كهرومغناطيسي أو صمام كهرضغطية بالإضافة إلى جزء القياس ، لذلك يتم تشكيل نظام حلقة مغلقة تمكنه من التحكم في تدفق الكتلة. يمكن توفير القيمة المحددة لوحدة التحكم في التدفق الكتلي عن طريق الجهد التناظري أو التيار التناظري أو الكمبيوتر و PLC.
يمكن استخدام مقياس تدفق الكتلة الحرارية كمقياس لتدفق الهواء المضغوط ، O2 ، Ar ، N2 ، CO2 ، He （الهليوم） مقياس تدفق الغاز ， مقياس تدفق غاز ثاني أكسيد الكربون ، مقياس تدفق الغاز الحيوي وما إلى ذلك.
